高分解能走査電子顕微鏡更新のお知らせ

依頼試験、研究開発、県内企業への貸付に使用してきた走査電子顕微鏡(SEM)を平成16年3月に更新しました。
新しく設置されたものは高分解能形でFE-SEMと呼ばれています。
これまで同様に、製品中の異物分析や表面観察、微小部分の元素分析や県内企業の研究開発等に幅広く利用
できます。
本装置は、ユーザーによる複雑な調整がほぼ不要で、ジョイスティックとマウス等で操作することができ、
撮影した画像はデジタルデータとして保存できます。倍率は20万倍程度可能です。また、旧機と同様に元素
分析機能（EDS）を備えています。

（担当：材料科学部工業化学グループ　谷口）



【装置仕様】
　・装置名　　：高分解能走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）
　・型式　　　：JSM-7400F/JED-2300F（日本電子製）
　・電子銃　　：電界放出形
　・分解能　　：1.0nm(15kV)、1.5nm(1kV)
　・元素分析　：ポイント、ライン、マッピング

　○使用料　　　観察：5,860円／時間
　　　　　　　　分析：6,990 円／時間 
　○分析手数料　観察：8,000円(基本) 2,500円(追加)
　　　　　　　　分析：11,800円(基本)2,760円(追加)