日本自転車振興会補助事業により、１５年度に導入しましたスパッタリング装置です。
　本装置は、薄膜（多層）を作製するための研究開発用装置で、タッチパネルからの操作により、排気、搬送、加熱、スパッタリングプロセスが全自動化され、レシピ管理で一括制御が可能です。
皆様のご利用をお待ちします。